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E3-3D:镀层测厚仪器

仪器规格:

● 外形尺寸:360 mm x 600mm x 385 mm (长x宽x高)
● 样品仓尺寸:360mm×400mm x160(长x宽x高,高度可定制)
● 仪器重量:50kg
● 供电电源:AC220V/ 50Hz
● 最大功率:330W
● 工作温度:15-30℃
● 相对湿度:≤85%,不结露
硬件配置:

探测器
● 类型:X123探测器(原装进口高性能电致冷半导体探测器)
● Be窗厚度:1mil
● 晶体面积:25mm2
● 最佳分辨率:145eV
●信号处理系统:DP5

X射线管
●电压:0-50v
●最大电流;2mA
●最大功率:50W
●靶材:Mo
●Be窗厚度:0.2mm
●使用寿命:大于2w小时

高压电源
●输出电压:0-50Kv
●灯丝电流0-2mA
●最大功率:50w
●纹波系数:0.1%(p-p值)
●8小时稳定性:0.05%

摄像头
●焦距:微焦距
●驱动:免驱动
●像素:500万像素

准直器、滤光片
●系统:快拆卸准直器、滤光片系统
●材质:多种材质准直器
●光斑:光斑大小Φ0.2mm、Φ1.0mm、Φ2.0mm、Φ4.0mm可选

十字激光头
●光斑形状:十字线
●输出波长:红光650nm
●光学透镜:玻璃透镜
●尺寸:Φ10×30mm
●发散角度:0.1-2mrad
●工作电压:DC 5V
●输出功率:<5mW
●工作温度:-10~50℃

其它配件
●开关电源:进口高性能开关电源
●散热风扇:进口低噪声、大风量风扇
特点:

1.1全自动三维样品台

1.2 X射线向下照射式,激光对焦

1.3小光斑设计

1.4测试时间灵活性调节

1.5多规格样品仓

1.6 X-Ray探测器



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